Dưới đây là một số loại trang thiết bị phòng sạch phổ biến: Buồng thổi khí (Air Shower) Loại bỏ bụi bẩn bám trên quần áo, cơ thể và vật liệu trước khi vào phòng sạch. Sử dụng luồng khí mạnh để thổi bay bụi bẩn khỏi người và vật liệu. Có thể có buồng đơn hoặc buồng đôi. Buồng đôi có thêm một buồng thay đồ để nhân viên thay trang phục trước khi vào buồng thổi khí. Giúp loại bỏ bụi bẩn bám trên quần áo, cơ thể và vật liệu trước khi vào phòng sạch Hộp lọc khí (Fan Filter Unit - FFU) Lọc bụi bẩn trong không khí, cung cấp khí sạch cho phòng sạch. Sử dụng quạt để hút khí bẩn qua hệ thống lọc và thổi khí sạch vào phòng sạch. Có thể có kích thước và kiểu dáng khác nhau tùy theo lưu lượng khí cần thiết. Tủ chuyển hàng (Pass Box) Truyền vật liệu giữa các khu vực có mức độ sạch khác nhau mà không ảnh hưởng đến môi trường bên trong phòng sạch. Có hai cửa ở hai mặt đối diện nhau. Khi một cửa mở, cửa bên kia sẽ tự động đóng lại để ngăn chặn luồng khí di chuyển giữa hai khu vực. Có thể có kích thước và kiểu dáng khác nhau tùy theo nhu cầu sử dụng. Pass Box giúp truyền vật liệu giữa các khu vực có mức độ sạch khác nhau Tủ dòng chảy tầng (Laminar Flow Hood) Cung cấp luồng khí sạch, không nhiễu loạn cho các hoạt động đòi hỏi độ tinh khiết cao. Sử dụng luồng khí tầng để tạo ra môi trường sạch sẽ và không nhiễu loạn trong khu vực làm việc. Thường được sử dụng trong các phòng thí nghiệm, nhà máy sản xuất dược phẩm và thiết bị điện tử. Bàn thao tác sạch (Clean Bench) Cung cấp môi trường làm việc sạch sẽ, không bụi cho các hoạt động đòi hỏi độ chính xác cao. Sử dụng luồng khí tầng để tạo ra môi trường sạch sẽ trong khu vực làm việc. Có thể có kích thước và kiểu dáng khác nhau tùy theo nhu cầu sử dụng. Bàn thao tác sạch cung cấp môi trường làm việc sạch sẽ, không bụi Ngoài ra, còn có một số loại trang thiết bị phòng sạch khác như: Máy đo hạt bụi: Đo lường số lượng hạt bụi trong không khí. Máy đo độ ẩm: Đo lường độ ẩm trong không khí. Máy điều hòa không khí: Điều chỉnh nhiệt độ và độ ẩm trong phòng sạch. Cửa phòng sạch: Cửa dành cho người và hàng hóa ra vào phòng sạch. Sàn phòng sạch: Sàn được làm bằng vật liệu chống tĩnh điện và dễ lau chùi. Tường và trần phòng sạch: Tường và trần được làm bằng vật liệu nhẵn mịn, dễ lau chùi và chống nấm mốc.
